MEMS

���ӹ���������̳��һ��רΪ�й����ӹ���ʦ�͵�����������ṩ���Ӽ�������Ӧ����Ѷ�����紫ý�ͽ������۵�ƽ̨�������ݷ�������ǿ��ٴ����뵼�弯�ɵ�·�������Ԫ���������¼��������²�Ʒ�������ھ򲢷�����������豸�Ŀ�������͵��Ӽ�����Ӧ��֪ʶ��ȫ������������ṩ���ӹ���ʦ�������������Ҫ�ĸ��ֹ������ϡ�